LED燈具行業(yè)應(yīng)用激光加工技術(shù)
文章來(lái)源:恒光電器
發(fā)布時(shí)間:2014-05-05
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2013年被譽(yù)為中國(guó)LED市場(chǎng)擴(kuò)展的重要年份,，同時(shí)LED照明產(chǎn)業(yè)銷售額可能會(huì)達(dá)到10億元人民幣,。隨著市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng),，LED制造業(yè)對(duì)于產(chǎn)能和成品率的要求變得越來(lái)越高，LED制造商正在尋找可以優(yōu)化劃片寬度,、劃片速度與加工產(chǎn)量的新工藝進(jìn)展,。LED激光剝離（LLO）和激光晶圓劃片設(shè)備給LED制造商提供了高性價(jià)比的工業(yè)工具，激光加工技術(shù)迅速成為L(zhǎng)ED制造業(yè)普遍的工具,，甚者成為了高亮度LED晶圓加工的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。
LED打標(biāo)雕刻線條較傳統(tǒng)的機(jī)械打標(biāo)雕刻窄得多，所以使得材料利用率顯著提高,，因此提高產(chǎn)出效率,。另外激光加工是非接觸式工藝，激光打標(biāo)機(jī)雕刻帶來(lái)晶圓微裂紋以及其他損傷更小,，星級(jí)酒店照明燈具,，這就使得晶圓顆粒之間更緊密，產(chǎn)出效率高,、產(chǎn)能高,，同時(shí)成品LED器件的可靠性也大大提高。
LED激光打標(biāo)雕刻概述
單晶藍(lán)寶石(Sapphire)與氮化鎵(GaN)屬于硬脆性材料(抗拉強(qiáng)度接近鋼鐵),，因此很難被切割分成單體的LED器件,。采用傳統(tǒng)的機(jī)械鋸片切割這些材料時(shí)容易帶來(lái)晶圓崩邊、微裂紋,、分層等損傷,，所以采用鋸片切割LED 晶圓，單體之間必須保留較寬的寬度才能避免切割開(kāi)裂傷及LED器件,，CE認(rèn)證,，這樣就很大程度上降低了LED晶圓的產(chǎn)出效率。
激光加工是非接觸式加工,，企業(yè)資訊,，作為傳統(tǒng)機(jī)械鋸片切割的替代工藝， led商業(yè)照明,，激光劃片切口非常小,，聚焦后的激光微細(xì)光斑作用的晶圓表面迅速氣化材料，在LED有源區(qū)之間制造非常細(xì)小的切口,， led服裝照明,，從而能夠在有限面積的晶圓上面切割出更多LED單體。激光打標(biāo)雕刻對(duì)砷化鎵(GaAS)以及其他脆性化合物半導(dǎo)體晶圓材料尤為擅長(zhǎng),。激光加工LED晶圓,，典型的打標(biāo)雕刻深度為襯底厚度的1/3到1/2這樣分割就能夠得到干凈的斷裂面，制造窄而深的激光打標(biāo)雕刻裂縫同時(shí)要保證高速的刻畫速度這就要求激光器具備窄脈寬,、高光束質(zhì)量,、高峰值功率,、高重復(fù)頻率等優(yōu)良品質(zhì)。并不是所有的激光均適合LED打標(biāo)雕刻,，原因在于晶圓材料對(duì)于可見(jiàn)光波長(zhǎng)激光的透射性,。GaN對(duì)于波長(zhǎng)小于365nm的光是透射的，而藍(lán)寶石晶圓對(duì)于波長(zhǎng)大于177nm的激光是半透射的,，國(guó)內(nèi)資訊,，因此波長(zhǎng)為355nm和266nm的三、四倍頻的調(diào)Q全固態(tài)激光器(DPSSL)是LED晶圓激光打標(biāo)雕刻的最佳選擇,。盡管準(zhǔn)分子激光器也可以實(shí)現(xiàn)LED打標(biāo)雕刻所需的波長(zhǎng),，但是倍頻的全固態(tài)調(diào)Q激光器體積更小，LED球泡燈,，較準(zhǔn)分子激光器維護(hù)少得多,，質(zhì)量方面全固激光器打標(biāo)雕刻線條非常窄，更適合于激光LED打標(biāo)雕刻,。
激光打標(biāo)雕刻使得晶圓微裂紋以及微裂紋擴(kuò)張大大減少，LED球泡燈,，醫(yī)院led照明,，綠色照明， LED單體之間距離更近,，這樣既提高了出產(chǎn)效率也提高了產(chǎn)能,。一般來(lái)講，電工照明,，恒光電器,照亮您的生活,，2英寸的晶圓可以分離出20，000個(gè)以上的LED單體器件,，家用照明,，如此高的密度，廠房照明,，因而切割的切縫寬度就會(huì)顯著影響分粒數(shù)量,，星級(jí)酒店照明燈具，減少微裂紋對(duì)于分粒后的LED器件的長(zhǎng)期可靠性也會(huì)有明顯的提高,。激光打標(biāo)雕刻較傳統(tǒng)的刀片切割不但提高了產(chǎn)出效率,，同時(shí)提高了加工速度，避免的刀片磨損帶來(lái)的加工缺陷與成本損耗,，總之激光加工精度高,，加工容差大，成本低,。