三星和LG將用ALD技術(shù) 提升柔性O(shè)LED面板的壽命和性能

文章來源:恒光電器

發(fā)布時間:2016-09-26

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　　要讓OLED抗水抗氧，ALD（原子層沉積）技術(shù)是最佳選擇,。三星與LG準備在生產(chǎn)OLED屏幕時引進這種技術(shù),。

　　三星顯示器公司與LG Display準備在柔性O(shè)LED薄膜封裝過程中采用ALD（原子層沉積）技術(shù)，兩家公司已經(jīng)與合作伙伴合作,，在內(nèi)部采購并驗證ALD設(shè)備,。如果采用ALD技術(shù)，就可以更好保護有機材料,，減少氧,、水的影響， LED置換工程,，技術(shù)資訊,，從而提高柔性O(shè)LED面板的壽命和性能。

　　據(jù)產(chǎn)業(yè)人士透露,，三星顯示器和LG Display正準備在柔性O(shè)LED生產(chǎn)流程中采用ALD技術(shù),。Jusung Engineering、WONIK IPS,、AP System和TES擁有ALD技術(shù)和設(shè)備,。LG Display已經(jīng)完成對ALD的研究，準備將它用于柔性O(shè)LED生產(chǎn),；三星顯示器也在加速部署ALD技術(shù),。

　　兩家公司完成了ALD技術(shù)的研發(fā)，它們正在考慮實際引入ALD的可能性,，因為它們正在向柔性O(shè)LED生產(chǎn)設(shè)施投資,。企業(yè)的研發(fā)已經(jīng)完成，開始進入商用階段,。

　　OLED是有機材料,， led室內(nèi)照明，它存在缺陷,，比如,，LED球泡燈，OLED對水和氧的防護比較弱,。為了保護OLED,，制造商會在OLED之上鋪上許多層的薄膜，減少水和氧的侵蝕,。具體鋪多少層,？不同的制造商有不同的標準,，一般而言，制造企業(yè)會用一種名叫“Vitex”的方法在OLED之上鋪蓋有機薄膜和無機薄膜,，企業(yè)資訊,，交疊進行，各自3-5層,。,。

　　在無機薄膜封裝過程中，企業(yè)一般使用PECVD（等離子體增強化學汽相沉積）,、濺射,、ALD技術(shù)；如果是有機薄膜沉淀,，3c認證,，使用的是Kateeva的噴墨打印技術(shù)。為了生成無機薄膜,，三星和LG采用PECVD技術(shù),。

　　為什么兩家企業(yè)現(xiàn)在才考慮用ALD技術(shù)替代PECVD？因為壽命和性能對于柔性O(shè)LED來說越來越重要,。另外,，柔性O(shè)LED屏幕的生產(chǎn)力下降，需求增長也是一個問題,。

　　ALD技術(shù)是CVD（化學蒸汽沉積）技術(shù)的一種,，它交替噴射原材料（包括ALD金屬和反應(yīng)氣體）從而形成原子薄膜層。MLD技術(shù)（分子層沉積）可以形成有機材料分子層,，兩者結(jié)合就可以形成多層屏障,，3c認證，保護OLED,，使之免受水和氧的侵蝕，即使在低溫下也可以形成,。

　　在屏幕生產(chǎn)過程中引進ALD技術(shù)有一些優(yōu)勢,，例如，它可以減少雜質(zhì),，形成厚度相同的薄膜,。ALD技術(shù)可以涂上高質(zhì)量薄膜層，保護效果明顯增強,。如果無機薄膜的厚度不同（只有幾納米的差別）,，層層疊加，總薄膜厚度,、滲水率就會受到影響,。除此之外,，與現(xiàn)有的CVD方法相比，LED射燈,，裝修照明,，ALD技術(shù)還可以采用各種不同的薄膜，這也是它的一個優(yōu)勢,。

　　半導體產(chǎn)業(yè)追求精細工藝,，ALD成為它們追捧的對象。不過顯示屏產(chǎn)業(yè)一直對ALD保持猶豫態(tài)度,，因為它的成本比PECVD高,，CCC認證，大面積使用也存在一定的問題,，企業(yè)資訊,，沉積速度不夠快。最近一段時間問題已經(jīng)部分解決,，正因如此ALD才會真正投入使用,。

　　一名產(chǎn)業(yè)代表稱：“雖然ALD和PECVD不可同日而語，恒光電器,照亮您的生活,，但是ALD的沉積速度比PECVD慢了大約10倍,。因為沉積速度慢，生產(chǎn)效率也很低,，工程照明,，大面積應(yīng)用有困難，LED球泡燈,，這些都是主要的障礙,，LED-T5一體化燈管，之所以真正引進ALD技術(shù),，主是是考慮到它可以形成更薄的高質(zhì)量薄膜,。”

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